實驗室機器人經蒸發(fā)作用后產生的高溫過氧化氫蒸汽不斷的被發(fā)生器噴射出來，直至達到空間內過氧化氫蒸汽飽和狀態(tài)。高溫飽和過氧化氫蒸汽接觸到較冷的被消毒物品表面會達到微冷凝狀態(tài)，在各種微生物等表面形成微米級的包圍層。過氧化氫分子會與光或者金屬離子反應，釋放出強氧化性的自由基，當接觸細胞時會破壞細胞膜和DNA，自由基會使微生物失活，在極短時間內殺死微生物，達到滅菌效果，自由基可以對微生物達到6-log的殺滅效果。